特性和规格(Ultra C SAPS V)

具有所有Ultra C SAPS II设备的功能

最多可配至12个腔体, 产能375 WPH

集成式化学药液供给模块

可配高温IPA干燥的技术

设备体积小:2.35m x 6.7m x 2.85m (宽x长x高)

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